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经营范围
发明名称
ANALYSIS OF POLYCRYSTALLINE SILICON FILM
摘要
申请公布号
JPH11145230(A)
申请公布日期
1999.05.28
申请号
JP19970307145
申请日期
1997.11.10
申请人
SONY CORP
发明人
HARADA YOSHIAKI
分类号
G01N23/223;G01N1/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01N23/223
代理机构
代理人
主权项
地址
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