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发明名称
LOADER CHAMBER OF ELECTRON MICROSCOPE AND THE LIKE
摘要
申请公布号
JPH11144657(A)
申请公布日期
1999.05.28
申请号
JP19970306807
申请日期
1997.11.10
申请人
HITACHI LTD
发明人
HASHIMOTO NOBUYOSHI
分类号
H01J37/20;(IPC1-7):H01J37/20
主分类号
H01J37/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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