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发明名称 ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11144636(A) 申请公布日期 1999.05.28
申请号 JP19970310248 申请日期 1997.11.12
申请人 SONY CORP 发明人 IKEDA MINORU
分类号 C23C14/48;H01J27/22;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J27/22 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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