| 发明名称 |
SCANNING CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND IMAGE RECORDING METHOD WITH IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11144665(A) |
申请公布日期 |
1999.05.28 |
| 申请号 |
JP19970322352 |
申请日期 |
1997.11.07 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI INSTR ENG CO LTD |
发明人 |
DAN MURASAKI;YAMADA MITSUHIKO;NAKAGAWA MINE |
| 分类号 |
H01J37/22;H01J37/147;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 |
主分类号 |
H01J37/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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