发明名称 METHOD FOR DISCRIMINATING FAILURE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11145018(A) 申请公布日期 1999.05.28
申请号 JP19970308995 申请日期 1997.11.11
申请人 SONY CORP 发明人 ATAISHI HIROYUKI
分类号 H01L21/66;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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