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发明名称 PROBE CARD AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11142437(A) 申请公布日期 1999.05.28
申请号 JP19970303972 申请日期 1997.11.06
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MIZUTA MASAHARU
分类号 G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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