发明名称 SEMICONDUCTOR MEMORY USING FERROELECTRIC LAYER
摘要
申请公布号 JPH11145411(A) 申请公布日期 1999.05.28
申请号 JP19970313358 申请日期 1997.11.14
申请人 ROHM CO LTD 发明人 NAKAMURA TAKASHI
分类号 H01L21/8247;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/115;H01L29/51;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/10;H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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