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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Halbleitervorrichtungen
摘要
申请公布号 DE69417933(D1) 申请公布日期 1999.05.27
申请号 DE19946017933 申请日期 1994.01.27
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 INOUE, SHUNSUKE, C/O CANON KABUSHIKI KAISH, TOKYO, JP;HOSHI, JUNICHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, TOKYO, JP;WATANABE, TAKANORI, C/O CANON KABUSHIKI KAISH, TOKYO, JP
分类号 H01L21/265;H01L21/00;H01L21/683;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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