ROTATING DEVICE FOR PLASMA IMMERSION SUPPORTED TREATMENT OF SUBSTRATES

摘要

Die Erfindung befasst sich mit einem Drehantrieb, der sich besonders zur Durchführung einer plasma-immersions-gestützten Behandlung dreidimensionaler Werkstücke eignet. Bei dieser Drehvorrichtung (10) liegen lediglich die drehbaren, als Probenhalter dienenden, herausnehmbar gelagerten Stangen (1, 11) auf Hochspannung, die über eine zentrale Hochspannungszuführung (9) am unteren Ende der Stangen zugeführt wird, während die eigentlichen Antriebselemente (7, 17) zum Drehen der Stangen (1, 11) durch geeignete Keramik-Isolationskörper (2, 3, 12, 13) elektrisch davon isoliert sind.