Verfahren zur Herstellung von Verbindungen, die in einer positiv arbeitenden, chemisch verstärkten Resistzusammensetzung verwendet werden,申请号DE19956009188-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Herstellung von Verbindungen, die in einer positiv arbeitenden, chemisch verstärkten Resistzusammensetzung verwendet werden
摘要
申请公布号	DE69509188(D1)	申请公布日期	1999.05.27
申请号	DE19956009188	申请日期	1995.10.25
申请人	FUJI PHOTO FILM CO., LTD., MINAMI-ASHIGARA, KANAGAWA, JP	发明人	AOAI, TOSHIAKI, C/O FUJI PHOTO FILM CO., LTD., HAIBARA-GUN, SHIZUOKA, JP;FUJIMORI, TORU, C/O FUJI PHOTO FILM CO., LTD., HAIBARA-GUN, SHIZUOKA, JP
分类号	G03F7/039;C08F8/02;C08L61/04;C08L61/06;G03F7/004;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004	主分类号	G03F7/039
代理机构		代理人
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