| 发明名称 |
Absorbent gas scrubber to dispose the gas generated during the semiconductor manufacturing process |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB9907308(D0) |
申请公布日期 |
1999.05.26 |
| 申请号 |
GB19990007308 |
申请日期 |
1999.03.31 |
| 申请人 |
ELECTRONICS CO LIMITED;KOREA M.A.T. CO LTD |
发明人 |
|
| 分类号 |
B01D53/34;B01D53/04;B01D53/81;B01D53/86;B01J20/08;B01J20/20;H01L21/02 |
主分类号 |
B01D53/34 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
