| 发明名称 | 微芯片准确定位设备 | ||
| 摘要 | 本发明涉及芯片(1)准确定位(固定)在载体(2)上的设备。其中用具有摄影机(5)和瞄准微芯片(1)的成像光学系统的光学位置监控设备(3)对微芯片的准确校准进行监控。根据本发明热辐射束引入到位置监控设备(3),并且通过同一成像光学系统(4)瞄准到微芯片(1)上,按照这种方式热能准确地引入到正确的位置上。 | ||
| 申请公布号 | CN1217819A | 申请公布日期 | 1999.05.26 |
| 申请号 | CN97194423.7 | 申请日期 | 1997.05.07 |
| 申请人 | 西门子公司 | 发明人 | G·波格纳;H·－L·阿尔特豪斯 |
| 分类号 | H01L21/60;B23K26/02;B23K1/005 | 主分类号 | H01L21/60 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 马铁良;王忠忠 |
| 主权项 | 1．微芯片(1)固定在载体(2)上的设备，该设备具有作为辐射加热构成的加热设备，输入热辐射束用于通过加热把微芯片(1)固定在载体(2)上，其中热辐射束通过成像光学系统(4)输入到微芯片(1)上，并且与光学监控设备安排同一成像光学系统(4)，其特征为：光学监控设备作为用于微芯片(1)在载体(2)上准确定位的光学位置监控设备(3)构成。 | ||
| 地址 | 联邦德国慕尼黑 | ||