| 发明名称 |
EPITAXY METHOD ON SILICON SUBSTRATE INCLUDING REGION DOPED WITH ARSENIC |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11139900(A) |
申请公布日期 |
1999.05.25 |
| 申请号 |
JP19980227542 |
申请日期 |
1998.07.29 |
| 申请人 |
ST MICROELECTRON SA |
发明人 |
DUTARTRE DIDIER;JERIER PATRICK |
| 分类号 |
C30B29/06;C23C16/24;C30B25/02;C30B25/20;H01L21/205;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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