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经营范围
发明名称
MAGNETRON DEVICE AND SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11140639(A)
申请公布日期
1999.05.25
申请号
JP19970297309
申请日期
1997.10.29
申请人
APPLIED MATERIALS INC
发明人
TANAKA YOICHIRO
分类号
C23C14/35;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/35
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
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