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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH11140628(A) 申请公布日期 1999.05.25
申请号 JP19970327048 申请日期 1997.11.12
申请人 ULVAC CORP 发明人 HIGUCHI YASUSHI;HIROISHI JOJI;KOMATSU TAKASHI;TOMIZAWA KAZUYUKI
分类号 C23C14/22;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/22 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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