发明名称 CLEANING METHOD OF SLURRY
摘要
申请公布号 JPH11137980(A) 申请公布日期 1999.05.25
申请号 JP19970311694 申请日期 1997.11.13
申请人 SHINKO PANTEC CO LTD 发明人 KONISHI YOSHIO;TAKADA KAZUTAKA;TANIDA KATSUYOSHI;TAKEO YOSHIE
分类号 B01D61/20;B01D65/08;(IPC1-7):B01D65/08 主分类号 B01D61/20
代理机构 代理人
主权项
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