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发明名称 Apparatus and method for surface inspection
摘要
申请公布号 SG65050(A1) 申请公布日期 1999.05.25
申请号 SG19980000265 申请日期 1998.02.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 NAKAJO MASAHIRO;TATSUTA KEN
分类号 G01B11/24;G01B11/245;G01N21/88;G01N21/956;H05K13/08;(IPC1-7):G01N21/88;G01B11/30 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
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