| 发明名称 |
Substrate treatment system substrate transfer system and substrate transfer method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG65007(A1) |
申请公布日期 |
1999.05.25 |
| 申请号 |
SG19970002941 |
申请日期 |
1997.08.14 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
UEDA ISSEI;AKIMOTO MASAMI;ITO KAZUHIKO;MATSUSHITA MITIAKI;KANEDA MASATOSHI;MATSUYAMA YUJI |
| 分类号 |
B65G49/07;G03F7/20;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/306;H01L21/304;H01L21/027;H01L21/68 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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