| 发明名称 |
Substrate processing apparatus substrate support apparatus substrate processing method and substrate fabrication method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG65092(A1) |
申请公布日期 |
1999.05.25 |
| 申请号 |
SG19980003112 |
申请日期 |
1998.08.17 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
TAKISAWA TORU;YONEHARA TAKAO;YAMAGATA KENJI |
| 分类号 |
H01L21/683;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/20;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/68;B32B31/04 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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