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发明名称
摘要
申请公布号
JP2893800(B2)
申请公布日期
1999.05.24
申请号
JP19900043471
申请日期
1990.02.23
申请人
FUJITSU KK
发明人
KOJIMA HIDEYUKI
分类号
H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L23/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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