| 主权项 |
1.一种离子布植机灯丝组结构,包括有:灯丝、螺丝、灯丝屏蔽座、衬套、绝缘体A、末端平板及绝缘体B等,其中,该螺丝用来支撑灯丝,螺丝的表面有螺纹,螺丝穿过灯丝屏蔽座上的孔洞并旋合在灯丝屏蔽座上方的绝缘体A上,该绝缘体A亦设有贯穿孔,可使灯丝穿过,绝缘体A的一端与另一个具有贯穿孔的绝缘体B密合在末端平板上,该末端平板可作为离子布植反应室之气密及支撑灯丝构件,灯丝贯穿螺丝、灯丝屏蔽座、绝缘体A、末端平板及绝缘体B再与外接线路连接,其特征在于:该灯丝屏蔽座上之贯穿孔周围套设一衬套,该衬套可以罩住绝缘体A与螺丝的旋合处,更有效避免在做晶片离子布植时,灯丝所发射出的热电子撞击到以金属为材质的反应室室壁,而将金属反溅出并覆盖住绝缘体上,造成灯丝短路。2.如申请专利范围第1项所述之离子布植机灯丝组结构,其中该灯丝屏蔽座上之贯穿孔周围所增设的衬套,其材质可与灯丝屏蔽座之材质相同,均为钼金属者。图式简单说明:第一图系传统晶片离子布植机之灯丝组结构之立体视图、第二图系传统晶片离子布植机结构剖面视图。第三图系本创作晶片离子布植机之灯丝组结构之立体视图。 |
