发明名称 |
SUBSTRATE PROCESSING EQUIPMENT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11135472(A) |
申请公布日期 |
1999.05.21 |
申请号 |
JP19970296960 |
申请日期 |
1997.10.29 |
申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
MURAOKA YUSUKE;KIYOSE HIROMI |
分类号 |
H01L21/304;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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