| 发明名称 |
SUBSTRATE INSPECTION DEVICE AND METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11133089(A) |
申请公布日期 |
1999.05.21 |
| 申请号 |
JP19970298316 |
申请日期 |
1997.10.30 |
| 申请人 |
NIHON DENSAN RIIDO KK |
发明人 |
YAMASHITA MUNEHIRO;EBITA MICHIO |
| 分类号 |
G01R31/02;G01R1/073;G01R31/28;G01R31/304;G01R31/312;H05K3/00;(IPC1-7):G01R31/02 |
主分类号 |
G01R31/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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