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发明名称 SUBSTRATE INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11133118(A) 申请公布日期 1999.05.21
申请号 JP19970297313 申请日期 1997.10.29
申请人 HAMAMATSU PHOTONICS KK;KYOCERA CORP 发明人 TAKAHASHI HIRONORI;NINOMIYA YUKIO
分类号 G01R31/02;G01R31/302;(IPC1-7):G01R31/302 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
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