发明名称 CALIBRATION OF SURFACE INSPECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH11132967(A) 申请公布日期 1999.05.21
申请号 JP19970292488 申请日期 1997.10.24
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 OKUNO MAKOTO;TOMURA YASUO
分类号 G01N21/89;G01N21/88;G01N21/892;G01N21/93;(IPC1-7):G01N21/89 主分类号 G01N21/89
代理机构 代理人
主权项
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