发明名称 OPTICAL MEMBER-INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH11132902(A) 申请公布日期 1999.05.21
申请号 JP19970297420 申请日期 1997.10.29
申请人 ASAHI OPTICAL CO LTD 发明人 YAMAMOTO KIYOSHI;SUGIURA MASAYUKI;NAKANISHI TAICHI
分类号 G01M11/00;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/958;(IPC1-7):G01M11/00 主分类号 G01M11/00
代理机构 代理人
主权项
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