发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11135776(A) 申请公布日期 1999.05.21
申请号 JP19970294115 申请日期 1997.10.27
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 KUBO HIROTOSHI;KITAGAWA MASANAO;SAITO HIROAKI;IGARASHI YASUHIRO;ARIYAMA SHO
分类号 H01L27/04;H01L21/265;H01L21/822;H01L29/78;H01L29/866;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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