发明名称
摘要
申请公布号 JPH11505500(A) 申请公布日期 1999.05.21
申请号 JP19970532278 申请日期 1997.03.11
申请人 发明人
分类号 C04B35/563;C01G1/00;C01G3/00;C04B35/45;C04B35/56;C04B35/58;C04B35/583;H01L39/12;H01L39/24;(IPC1-7):C04B35/563 主分类号 C04B35/563
代理机构 代理人
主权项
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