发明名称 |
DISTORTION DETECTION ELEMENT AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11132705(A) |
申请公布日期 |
1999.05.21 |
申请号 |
JP19970296081 |
申请日期 |
1997.10.29 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD |
发明人 |
SAKAI ATSUSHI;HATAI TAKASHI;SUGIYAMA SUSUMU |
分类号 |
G01L1/14;G01B7/16;G01L9/00;G01L9/12;H01L29/84;(IPC1-7):G01B7/16 |
主分类号 |
G01L1/14 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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