发明名称 DISTORTION DETECTION ELEMENT AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11132705(A) 申请公布日期 1999.05.21
申请号 JP19970296081 申请日期 1997.10.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 SAKAI ATSUSHI;HATAI TAKASHI;SUGIYAMA SUSUMU
分类号 G01L1/14;G01B7/16;G01L9/00;G01L9/12;H01L29/84;(IPC1-7):G01B7/16 主分类号 G01L1/14
代理机构 代理人
主权项
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