发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11135522(A) 申请公布日期 1999.05.21
申请号 JP19980094220 申请日期 1998.04.07
申请人 NEC CORP 发明人 ASAI SHUJI;OIKAWA YOICHI
分类号 H01L29/41;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338;H01L21/306 主分类号 H01L29/41
代理机构 代理人
主权项
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