| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR FORMING DEPOSITED FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11135442(A) |
申请公布日期 |
1999.05.21 |
| 申请号 |
JP19970316420 |
申请日期 |
1997.10.31 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
AKIYAMA KAZUYOSHI;MURAYAMA HITOSHI;OKAMURA TATSUJI;SHIRASAGO TOSHIYASU;TAKADA KAZUHIKO;AOIKE TATSUYUKI |
| 分类号 |
G03G5/08;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/205;H01L31/04;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
G03G5/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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