| 发明名称 |
FORMATION METHOD FOR DIELECTRIC FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11135809(A) |
申请公布日期 |
1999.05.21 |
| 申请号 |
JP19970295903 |
申请日期 |
1997.10.28 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
AKAGE YUICHI;KATO KAZUTOSHI |
| 分类号 |
H01L31/02;(IPC1-7):H01L31/02 |
主分类号 |
H01L31/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
