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发明名称 METHOD FOR SELECTIVELY DEPOSITING METAL ON SEMICONDUCTOR OPENING
摘要
申请公布号 JPH11135459(A) 申请公布日期 1999.05.21
申请号 JP19980240012 申请日期 1998.08.26
申请人 POHANG ENG COLLEGE 发明人 RI JIU;IN SHOKO
分类号 H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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