| 发明名称 |
RESIST COMPOSITION AND HARDENED MATERIAL THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11133601(A) |
申请公布日期 |
1999.05.21 |
| 申请号 |
JP19970309508 |
申请日期 |
1997.10.27 |
| 申请人 |
NIPPON KAYAKU CO LTD |
发明人 |
YOKOSHIMA MINORU;OKUBO TETSUO;SASAHARA KAZUNORI |
| 分类号 |
G03F7/004;C08G63/08;G03F7/033;H05K3/06;H05K3/18;(IPC1-7):G03F7/033 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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