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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11135620(A) 申请公布日期 1999.05.21
申请号 JP19970309882 申请日期 1997.10.24
申请人 NEC CORP 发明人 ITO SHINYA
分类号 H01L21/768;H01L21/314;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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