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发明名称
Integriertes Dünnschichtverfahren zur Erlangung von hohen Ballastwerten für Überlagerungsstrukturen
摘要
申请公布号
DE69322226(T2)
申请公布日期
1999.05.20
申请号
DE19936022226T
申请日期
1993.09.30
申请人
STMICROELECTRONICS, INC., CARROLLTON, TEX., US
发明人
IMHAUSER, WILLIAM P., AMBLER, PENNSYLVANIA 19002, US
分类号
H01L21/331;H01L29/73;(IPC1-7):H01L29/73
主分类号
H01L21/331
代理机构
代理人
主权项
地址
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