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发明名称 Verfahren zum Verbinden eines scheibenförmigen Isolierkörpers mit einem scheibenförmigen, leitfähigen Körper
摘要
申请公布号 DE4136075(C3) 申请公布日期 1999.05.20
申请号 DE19914136075 申请日期 1991.10.30
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 FUNCK, WOLFGANG, 12279 BERLIN, DE;ARNDT, FRANK, DR., 10627 BERLIN, DE;SCHLAAK, HELMUT, DR., 14195 BERLIN, DE
分类号 H01L21/20;H01L21/48;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/58;C03C27/02;H05B3/10 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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