Corpuscular beam apparatus

摘要

Die Erfindung lehrt ein Korpuskularstrahlgerät (1), bei dem die Primärkorpuskeln (PE) schräg auf die optische Achse (A) zugeführt werden. Eine Ablenkeinrichtung (56) führt den Primärstrahl (PE) in die optische Achse (A) zurück. Die Ablenkeinrichtung (56) wird gleichzeitig zur besseren Trennung der durch das Auftreffen des Primärstrahls (PE) auf die Probe (26) entstehenden Sekundärkorpuskeln (SE) von denen Primärkorpuskeln (PE) ausgenutzt. Dies bewirkt insgesamt eine Vereinfachung der Einrichtungen, die zur Trennung der Primärkorpuskeln von den Sekundärkorpuskeln erforderlich sind. <IMAGE>