发明名称 具有两对晶体管和一对负载元件的静态存储单元
摘要 一种静态存储单元,在第一驱动MOS晶体管、第二驱动MOS晶体管、第一转移MOS晶体管和第二转移MOS晶体管上形成层间绝缘膜。在该层间绝缘膜上形成字线、第一位线和第二位线。该字线与第一转移MOS晶体管的栅极电极和第二转移MOS晶体管的栅极电极连接。该第一位线与第一转移MOS晶体管的源极和漏极区中的另一个连接。该第二位线与第二转移MOS晶体管的源极和漏极区中的另一个连接。
申请公布号 CN1216864A 申请公布日期 1999.05.19
申请号 CN98102901.9 申请日期 1998.05.30
申请人 日本电气株式会社 发明人 出口浩司
分类号 H01L27/11;H01L21/8244 主分类号 H01L27/11
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 杨松龄;王忠忠
主权项 1、具有一对转移MOS晶体管、一对驱动MOS晶体管和一对负载元件的静 态存储单元,包括: 在半导体衬底表面上形成的第一驱动MOS晶体管; 在所述半导体衬底表面上形成的第二驱动MOS晶体管; 与所述第一驱动MOS晶体管的漏极区和所述第二驱动MOS晶体管的栅极电 极连接的第一负载元件; 与所述第二驱动MOS晶体管的漏极区和所述第一驱动MOS晶体管的栅极电 极连接的第二负载元件;所述第一驱动MOS晶体管、所述第二驱动MOS晶体管、 所述第一负载元件和所述第二负载元件组成了一触发器电路, 在所述半导体衬底表面上形成的第一转移MOS晶体管,所述第一转移MOS 晶体管的源极和漏极区中的一个与所述第一驱动MOS晶体管的漏极区连接; 在所述半导体衬底表面上形成的第二转移MOS晶体管,所述第二转移MOS 晶体管的源极和漏极区中的一个与所述第二驱动MOS晶体管的漏极区连接; 在所述第一驱动MOS晶体管、所述第二驱动MOS晶体管、所述第一转移MOS 晶体管的所述第二转移MOS晶体管上形成的层间绝缘膜; 在所述层间绝缘膜上形成的第一位线,所述第一位线与所述第一转移MOS 晶体管的源极和漏极区中的另一个连接; 在所述层间绝缘膜上形成的第二位线,所述第二位线与所述第二转移MOS 晶体管的源极和漏极中的另一个连接; 在所述层间绝缘膜上形成的字线,所述字线与所述第一转移MOS晶体管的 栅极电极和所述第二转移MOS晶体管的栅极电极连接。
地址 日本东京都