在混合气体中通过两个电极之间的放电对基体进行表面处理的方法和设备

摘要

一种这样的设备,该设备用于通过在可生成副产品(例如是粉末)的混合气体内的两个电极之间形成的放电来对一运动的基体进行表面处理,所说的副产品则会沉积在前述电极上,在所述设备中,所述电极中的一个是一辊子,基体可贴在该辊子上,提供了这样的装置,它用于使上述辊子和基体旋转并用于将混合气体注入所述电极之间,所述第二电极是一辊子,运动的基体也贴在该辊子上,该辊子按适当的间隙设置成与另一个辊子相平行。

主权项

1．一种在混合气体中通过两个电极之间形成的放电来对运动的基体(3)进行表面处理的方法，其处于等于大气压力或接近大气压力下，混合气体可产生能沉积在所述电极上的副产品，其中，所述电极中的一个电极(9)是一辊子，所述基体可贴在该辊子上，提供了用于将混合气体注入所述电极之间的装置，其特征在于：使用了至少一个用于对基体(3)进行处理的工作台(1)，每一工作台(1、2)均包括至少一对辊式电极(9、11)以及一注入器(32)，该注入器用于将混合气体注入上述辊子之间，并且，按下述方式对基体进行处理：通过使所述基体贴到第一辊式电极上，使得该基体第一次连续地在两个辊式电极之间经过，在此，基体经历了第一次表面处理，然后，通过使所述基体贴到第二辊式电极上，使得该基体第二次在两个辊式电极之间经过，在此，基体经历了第二次表面处理。