| 发明名称 |
Reference image forming method and pattern inspection apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0899559(A3) |
申请公布日期 |
1999.05.19 |
| 申请号 |
EP19980116191 |
申请日期 |
1998.08.27 |
| 申请人 |
NEC CORPORATION |
发明人 |
NOZAKI, TAKEO;NISHII, SATOSHI |
| 分类号 |
G06T1/00;G01N21/956;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G06T1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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