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发明名称 PYROMETER CALIBRATION USING MULTIPLE LIGHT SOURCES
摘要
申请公布号 EP0916078(A1) 申请公布日期 1999.05.19
申请号 EP19980920959 申请日期 1998.05.07
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 YAM, MARK
分类号 G01J5/02;G01J5/00;G01J5/52;(IPC1-7):G01J5/52 主分类号 G01J5/02
代理机构 代理人
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