发明名称 |
Probe card locking device of a semiconductor wafer probe station |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2299704(B) |
申请公布日期 |
1999.05.19 |
申请号 |
GB19960007330 |
申请日期 |
1996.04.09 |
申请人 |
* HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. |
发明人 |
DONG-SECK * LEE |
分类号 |
G01R1/067;(IPC1-7):H01L21/66;G01R1/073 |
主分类号 |
G01R1/067 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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