| 发明名称 |
DOUBLE WINDOW EXHAUST ARRANGEMENT FOR WAFER PLASMA PROCESSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0916154(A1) |
申请公布日期 |
1999.05.19 |
| 申请号 |
EP19980903778 |
申请日期 |
1998.01.30 |
| 申请人 |
FUSION SYSTEMS CORPORATION |
发明人 |
JANOS, ALAN, C. |
| 分类号 |
H01L21/302;H01J37/32;H01L21/027;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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