| 发明名称 |
COATING FILM FORMING DEVICE PROVIDED WITH SUBSTRATE COOLING MEANS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11131230(A) |
申请公布日期 |
1999.05.18 |
| 申请号 |
JP19970295620 |
申请日期 |
1997.10.28 |
| 申请人 |
SHIBAURA MECHATRONICS CORP |
发明人 |
KAWAMATA YOSHIO |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/50;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/50 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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