| 发明名称 |
PLASMA CVD DEVICE AND FORMATION OF DEPOSITED COATING FILM BY PLASMA CVD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11131246(A) |
申请公布日期 |
1999.05.18 |
| 申请号 |
JP19970312594 |
申请日期 |
1997.10.29 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
YAMAGAMI ATSUSHI;TERANISHI KOJI;TAKAGI SATOSHI |
| 分类号 |
G03G5/08;C23C16/50;G03G5/082;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
G03G5/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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