| 发明名称 |
PRODUCTION OF NITRIDE SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11130587(A) |
申请公布日期 |
1999.05.18 |
| 申请号 |
JP19970293797 |
申请日期 |
1997.10.27 |
| 申请人 |
GIFU PREFECTURE KENKYU KAIHATSU ZAIDAN |
发明人 |
SAIKI HISAO;YOSHIDA AKIRA |
| 分类号 |
C30B23/00;C23C14/34;C30B29/38;H01L21/203;(IPC1-7):C30B23/00 |
主分类号 |
C30B23/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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