| 发明名称 |
HIGH-QUALITY SILICON SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11130593(A) |
申请公布日期 |
1999.05.18 |
| 申请号 |
JP19970358833 |
申请日期 |
1997.12.26 |
| 申请人 |
SUMITOMO SITIX CORP |
发明人 |
EGASHIRA KAZUYUKI;OKUI MASAHIKO;KURAGAKI SHUNJI;TANAKA TADAMI |
| 分类号 |
G01N23/20;C30B15/22;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
G01N23/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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