| 发明名称 |
FORMATION OF THIN COATING FILM AND DEVICE FOR FORMING THIN COATING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11131229(A) |
申请公布日期 |
1999.05.18 |
| 申请号 |
JP19970309848 |
申请日期 |
1997.10.24 |
| 申请人 |
RIKAGAKU KENKYUSHO |
发明人 |
IWAI SOHACHI;AOYANAGI KATSUNOBU |
| 分类号 |
C23C14/28;C23C14/34;C23C14/54;C23C14/58;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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