发明名称 APPARATUS FOR PULLING SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH11130585(A) 申请公布日期 1999.05.18
申请号 JP19970297390 申请日期 1997.10.29
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO LTD 发明人 WATANABE MASAYUKI
分类号 C30B15/26;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/26 主分类号 C30B15/26
代理机构 代理人
主权项
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